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OEM-Lösungen, Module, Komponenten, ...

 

 Getrieben von den Kundenforderungen nach Qualitäts- und Produktivitätssteigerung bei gleichzeitiger Kostensenkung sowie einem Blick für Nischen und Marktlücken entwickelt die Adenso permanent eingene Produkte und Speziallösungen:

 RRU - Roll Resistor Unit

 Gasseprationssystem, optimiert für flexible substrate, speziell dünne Gläser.
 Verfügbar als Mehrstufensystem für den Einsatz im Hochvakuum.

 

 RRV - Roll Resistor Valve

 Load Lock System für sensible Substrate.
 Damit entsteht die Möglichkeit, Kombinationsanlagen ATM-VAC-ATM
 aus atmosphärischen Prozessen (ATM) und Vakuumprozessen (VAC) zu konfigurieren.
 Optionale Strahlungsfallen ermöglichen den Einsatz von EB Elektronenstrahlkomponenten
 innerhalb der Hochvakuumsektionen.

 ILS - Interleaf System

 Sensilble Subtrate wie z.B. Dünnglas erfordert bei der Lagerung in Form eines Coils eine Zwischenlage.
 Wickelsysteme für dünne Gläser können mit Ab- und Aufwickelvorrichtung für solche Zwischenlayer ausgerüstet werden.

 FCS - Flex Carrier System

 Unterstützung des Substrathandlings für sensible Substrate wie Ultradünne Gläser (UTG)

 SCS - Substrate Cover System

 Schutzlayer für sensible Substrate; verfügbar für Vorder- und Rückseite.